图书介绍
MEMS技术及其应用2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载
- 李德胜等编著 著
- 出版社： 哈尔滨：哈尔滨工业大学出版社
- ISBN：7560316948
- 出版时间：2002
- 标注页数：301页
- 文件大小：20MB
- 文件页数：310页
- 主题词：微电机
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图书目录
第一章 绪论1
1.1 MEMS的定义2
1.2 国内外研究概况及展望4
1.3 纳米技术及展望15
第二章 MEMS基础理论23
2.1 尺寸效应24
2.2 微机械常用材料26
2.3 微构造的机械特征28
2.4 微构造的振动特性31
2.5 微构造的热特性32
2.6 摩擦磨耗的减小办法33
2.7 微流路中液体的流动35
2.9 超小型机械实验的障碍及对策37
2.8 微机械的驱动原理37
第三章 微机械制造技术40
3.1 概述42
3.2 体加工工艺44
3.3 硅表面微机械加工技术75
3.4 结合加工82
3.5 逐次加工92
3.6 LIGA技术94
3.7 微机械加工技术中的微电子工艺和设备111
3.8 本章小结137
第四章 MEMS CAD辅助分析设计138
4.1 ANSYS的主要技术特点139
4.2 ANSYS使用中几个应注意的问题142
4.3 ANSYS的分析步骤142
4.4 微型电磁继电器受力及磁场分布的ANSYS模拟143
4.5 仿真分析的一些经验153
4.6 本章小结155
第五章 微传感器156
5.1 传感器的基本物理效应158
5.2 压阻效应与半导体应变传感器160
5.3 电容式三维加速度计167
5.4 振动式微陀螺仪176
5.5 微型热式湿度传感器179
5.6 微型光栅读码器182
5.7 微型磁通门184
第六章 微操作器194
6.1 静电型微操作器194
6.2 电磁型微操作器203
6.3 热膨胀型微操作器205
6.4 压电型微操作器206
6.5 微机械零件207
第七章 微机电系统210
7.1 微机电系统的特点211
7.2 微机电系统实现所面临的课题212
7.3 微机电系统介绍213
第八章 生物芯片244
8.1 生物芯片概述244
8.2 生物芯片中常用的几种检测原理252
8.3 生物芯片加工技术271
8.4 生物芯片282
8.5 本章小结297
参考文献298